油石超精加工特點：
油石超精加工是由兩導輥支撐工件，以較低的壓力將油石壓向旋轉著的工件上，形成面接觸狀態，同時，油石作較高頻率的軸向振動。其主要特點：
* 在短時間內極大地改善粗糙度（貫穿式超精加工通常可達Ra0.025μm）。
* 由于在低壓下加工，所以工件的表面組織不產生異常變化，并可去除或大部分去除前工序（磨加工或切削加工）產生的表面變質層。
* 由于油石與工件是面接觸方式，自動仿形，所以能夠去除磨加工中易出現的表面波紋（棱圓），從而提高圓度。
經過超精加工的工件，精度得到很大提高，表面質量顯著改善，易形成潤滑油膜，改善潤滑條件，因而使用壽命長，承載能力高。與其它加工方式相比，省工省力，效率高。
3M63120/3M63200型圓柱滾子無心超精機：
* 采用工件無心貫穿方式超精加工；
* 一組四塊～六塊油石，按粗超、半精超、精超順序配置，依次同時對工件進行超精加工；
* 加工對象為圓柱滾子、滾動軸承套圈、活塞銷、活塞、減震器連桿等。
| 型號 | 加工直徑范圍 mm | 油石氣缸個數 | 表面粗糙度 μm | 外形尺寸（長×寬×高） mm | |
| 超前 | 超后 | ||||
| 3M63120 | 10～120 | 4 | Ra0.2 | Ra0.05 | 1384×1120×1610 |
| 3M63200 | 80～200 | 6 | Ra0.2 | Ra0.1 | 2200×1865×1815 |
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